面向直接或油浸检测系统的高灵敏度MEMS压力传感器-压力传感器电路图

迈来芯公司推出两款结合了高灵敏度和高线性度特性的全新压力传感器产品MLX90815和MLX90816，它们是分立式微机电（MEMS）器件，完全符合汽车级（超过AEC-Q100的要求）应用要求，可用于在苛刻的工作环境下测量绝对压力。MLX90815在用于测定0到30bar的绝对压力时具有最佳性能，而MLX90816则覆盖满量程压力范围从30至50bar绝对压力。两款产品线性度最大偏差仅仅为0.2％FS，MLX90815典型灵敏度为1.5mV/V/bar ，而MLX90815则为0.5mV/V/bar。 

集成到这些MEMS器件中的传感器元件包括有一个与微加工硅压力膜(micro-machined silicon pressure membrane)连接的压阻惠斯通电桥（piezo-resistive Wheatstone bridge），它们采用迈来芯公司自己的专有工艺技术制造。在有压力施加到上述压力膜时，如果惠斯登电桥的输入端加有偏置电压，会在其输出端产生一个差分电压变化。

       MLX90815和MLX90816压力传感器可以和迈来芯公司的高性能传感器接口芯片（如MLX90320）一起使用，以便对输出信号进行调理。这些传感器非常适合于各种汽车压力监测应用，以及工业过程控制、家用电器、医疗设备和消费电子产品。

MLX90815和MLX90816的工作温度范围是-40°C到150℃，能够在最恶劣的工作条件下保持稳定运行。这些器件可直接应用于一般的非腐蚀性/非侵蚀性介质，或可应用于充油的传感器模块，以便进一步提高其鲁棒性。

迈来芯公司压力传感器产品线经理Laurent Otte 表示：“通过在产品系列中新增这些新产品，迈来芯公司现在巩固了其“一站式”先进压力传感技术供应商的地位。我们不只是提供领先的压力传感器，同时也通过提供压力传感器周边的复杂接口/信号处理等IC产品来提升我们的服务。”

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